Preferred orientation control of ZnO polycrystalline films deposited by magnetron sputtering

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F13%3A43921041" target="_blank" >RIV/49777513:23640/13:43921041 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Preferred orientation control of ZnO polycrystalline films deposited by magnetron sputtering
Popis výsledku v původním jazyce
Magnetron sputtering and subsequent annealing are used for preparing polycrystalline ZnO films with specific preferred orientation of the crystallites. The preferred orientation is determined by the substrate temperature during deposition and energy of ions accelerated by bias to the growth film. Subsequent annealing is used to eliminate tension and defects which arose as result of causes by iont bombardment. The production procedure was verified by X-ray diffraction, which confirmed the preferential orientation of the resulting ZnO film.
Název v anglickém jazyce
Preferred orientation control of ZnO polycrystalline films deposited by magnetron sputtering
Popis výsledku anglicky
Magnetron sputtering and subsequent annealing are used for preparing polycrystalline ZnO films with specific preferred orientation of the crystallites. The preferred orientation is determined by the substrate temperature during deposition and energy of ions accelerated by bias to the growth film. Subsequent annealing is used to eliminate tension and defects which arose as result of causes by iont bombardment. The production procedure was verified by X-ray diffraction, which confirmed the preferential orientation of the resulting ZnO film.

Projekt
<a href="/cs/project/ED2.1.00%2F03.0088" target="_blank" >ED2.1.00/03.0088: Centrum nových technologií a materiálů (CENTEM)</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
NTC-OTE-13-001
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Ve výrobní postupu je k řízení preferenční orientace využíván deposiční systém BOC Edwards TF 600 obsahující magnetron pro naprašování z terče, který umožnuje i následné žíhání do 400°C. Proces by mohl být snadno přenesen i na jiné zařízení využívající magnetronové naprašování. David Lávička, Západočeská univerzita v Plzni (IČO 49777513), Nové technologie - výzkumné centrum, Univerzitní 8, 306 14 Plzeň, 377634714, dlavicka@ntc.zcu.cz. Viz odkaz http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/ot/NTC-OTE-13-001.html
Ekonomické parametry
Výsledek je využíván příjemcem Západočeská univerzita v Plzni (IČO 49777513), ekonomické parametry se neuvádí.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
49777513
Název vlastníka
Západočeská univerzita v Plzni
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)