Příprava naprašovaných vrstev pro nanostrukturní piezogenerátor
Popis výsledku
Práce se zabývá přípravou a optimazilací ZnO vrstev použitelné pro tenkovrstvé piezogenerátory napětí. Vrstva ZnO byla připravena metodou magnetronového naprašování při teplotě 100°C, což umožnuje její využití pro zařízení na flexibilních polymerních substrátech. U vrstvy byla dosažena silná preferenční orientace ve směru krystalové osy c. Dále byla zajištěna vysoká elektrická resistivita, která je důležitá pro potlačení stínění elektrického pole volným nábojem.
Klíčová slova
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Příprava naprašovaných vrstev pro nanostrukturní piezogenerátor
Popis výsledku v původním jazyce
Práce se zabývá přípravou a optimazilací ZnO vrstev použitelné pro tenkovrstvé piezogenerátory napětí. Vrstva ZnO byla připravena metodou magnetronového naprašování při teplotě 100°C, což umožnuje její využití pro zařízení na flexibilních polymerních substrátech. U vrstvy byla dosažena silná preferenční orientace ve směru krystalové osy c. Dále byla zajištěna vysoká elektrická resistivita, která je důležitá pro potlačení stínění elektrického pole volným nábojem.
Název v anglickém jazyce
Preparation of sputtered film for thin film piezogenerator
Popis výsledku anglicky
The work deals with optimization of ZnO films used for thin-film piezogenerator. The ZnO films were prepared by magnetron sputtering at temperature of 100°C, which ensure its use on the flexible polymer substrate. The prepared ZnO film exhibits strong preferred orientation in the direction of c axis. Moreover, the high resistivity of the film was achieved, which is important to eliminated screening of generated electrical field by free charge.
Klasifikace
Druh
Ztech - Ověřená technologie
CEP obor
—
OECD FORD obor
20201 - Electrical and electronic engineering
Návaznosti výsledku
Projekt
ED2.1.00/03.0088: Centrum nových technologií a materiálů (CENTEM)
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2019
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
NTC-OTE-19-002
Číselná identifikace
NTC-OTE-19-002
Technické parametry
Optimalizavaná technologie pro ZnO vrstvu, která je použitelná pro tenkovrstvé piezogenerátory napětí s vysokou elektrickou resistivitou. David Lávička, Západočeská univerzita v Plzni (IČO 49777513), Nové technologie - výzkumné centrum, Univerzitní 8, 306 14 Plzeň, 377634712, dlavicka@ntc.zcu.cz. Viz odkaz http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/ot/NTC-OTE-19-002.html
Ekonomické parametry
Výsledek je využíván příjemcem Západočeská univerzita v Plzni (IČO 49777513. Vyvinutý piezogenerátor napětí vytvořený magnetronovým naprašováním při teplotě 100°C umožňuje výrazné snížení výrobních nákladů. Další výhodou je tvorba piezogenerátoru za běžných podmínek a to má opět vliv na snižení nákladů.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
49777513
Název vlastníka
Západočeská univerzita v Plzni
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—
Základní informace
Druh výsledku
Ztech - Ověřená technologie
OECD FORD
Electrical and electronic engineering
Rok uplatnění
2019