The thermal stability of laser annealed contacts based on palladium
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22310%2F00%3A00004387" target="_blank" >RIV/60461373:22310/00:00004387 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
The thermal stability of laser annealed contacts based on palladium
Popis výsledku v původním jazyce
The thermal stability of W/Pt/doping element/Pd and Pt/doping element/Pd ohmic contacts with Ge, Si, and Sn in the position of doping elements were investigated. Two stability tests were made, the first at 400 oC and the second at 195 oC.
Název v anglickém jazyce
The thermal stability of laser annealed contacts based on palladium
Popis výsledku anglicky
The thermal stability of W/Pt/doping element/Pd and Pt/doping element/Pd ohmic contacts with Ge, Si, and Sn in the position of doping elements were investigated. Two stability tests were made, the first at 400 oC and the second at 195 oC.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA106%2F99%2F1437" target="_blank" >GA106/99/1437: Příprava citlivých vrstev chemických senzorů pomocí impulsní laserové depozice</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2000
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Microelectronic Engineering
ISSN
0167-9317
e-ISSN
—
Svazek periodika
54
Číslo periodika v rámci svazku
3
Stát vydavatele periodika
NL - Nizozemsko
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—