Optical Emission Spectroscopy of Plasma in Hybrid Pulsed Laser Deposition System.
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61388955%3A_____%2F02%3A54020261" target="_blank" >RIV/61388955:_____/02:54020261 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Optical Emission Spectroscopy of Plasma in Hybrid Pulsed Laser Deposition System.
Popis výsledku v původním jazyce
Optical emission spectroscopy method was used for plasma investigation in hybrid pulsed laser deposition system (HPLD) suitable for rich nitrogenated CNx thin films creation. HPLD system was based on combination of pulsed laser deposition (PLD) and an additional radiofrequency (RF) discharge. RF discharge plasma was generated between two electrodes situated parallel to plasma plume from graphite target, in nitrogen ambient. Plasma species as CN, N-2, N-2(+), N, C-2, C and C+ were detected. Influence ofnitrogen pressure, RF power, geometrical arrangement of electrodes on emission intensity was studied. Vibrational temperature of N-2, CN and rotational temperature of CN was estimated.
Název v anglickém jazyce
Optical Emission Spectroscopy of Plasma in Hybrid Pulsed Laser Deposition System.
Popis výsledku anglicky
Optical emission spectroscopy method was used for plasma investigation in hybrid pulsed laser deposition system (HPLD) suitable for rich nitrogenated CNx thin films creation. HPLD system was based on combination of pulsed laser deposition (PLD) and an additional radiofrequency (RF) discharge. RF discharge plasma was generated between two electrodes situated parallel to plasma plume from graphite target, in nitrogen ambient. Plasma species as CN, N-2, N-2(+), N, C-2, C and C+ were detected. Influence ofnitrogen pressure, RF power, geometrical arrangement of electrodes on emission intensity was studied. Vibrational temperature of N-2, CN and rotational temperature of CN was estimated.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/IAA1010110" target="_blank" >IAA1010110: Nové laserové hybridní technologie pro depozici tenkých vrstev</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2002
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Czechoslovak Journal of Physics
ISSN
0011-4626
e-ISSN
—
Svazek periodika
52
Číslo periodika v rámci svazku
Suppl. D
Stát vydavatele periodika
CZ - Česká republika
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
292-298
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—