Fyzikální a chemická vlastnost plazmaticky polymerizovaného tetravinylsilanu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389005%3A_____%2F07%3A00097581" target="_blank" >RIV/61389005:_____/07:00097581 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216305:26310/07:PU70613

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Physico-chemical properties of plasma-polymerized tetravinylsilane

Popis výsledku v původním jazyce

Plasma polymer films of tetravinylsilane were deposited on silicon wafers using an RF glow discharge operated in pulsed mode. Microscopic and spectroscopic techniques revealed that physico-chemical properties of plasma polymer depend on the effective power used if the flow rate was constant. The deposition rate (8-165 nm min(-1)) and surface roughness (2.0-5.8 nm) of films varied with the RF power. An organic/inorganic character (C/Si ratio) of films and a content of vinyl groups could be controlled bythe effective power. The refractive index of films increased with power from 1.63 (0.05 W) to 1.75 (10 W) at a wavelength of 633 nm and the extinction coefficient rose sharply with the power from 0.09 (0.05 W) to 0.37 (10 W) at a wavelength of 240 nm. The elastic modulus and hardness of plasma polymer could be varied from 11 GPa (0.05 W) to 30 GPa (10 W) and from 1.4 to 5.9 GPa, respectively. (C) 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.

Název v anglickém jazyce

Physico-chemical properties of plasma-polymerized tetravinylsilane

Popis výsledku anglicky

Plasma polymer films of tetravinylsilane were deposited on silicon wafers using an RF glow discharge operated in pulsed mode. Microscopic and spectroscopic techniques revealed that physico-chemical properties of plasma polymer depend on the effective power used if the flow rate was constant. The deposition rate (8-165 nm min(-1)) and surface roughness (2.0-5.8 nm) of films varied with the RF power. An organic/inorganic character (C/Si ratio) of films and a content of vinyl groups could be controlled bythe effective power. The refractive index of films increased with power from 1.63 (0.05 W) to 1.75 (10 W) at a wavelength of 633 nm and the extinction coefficient rose sharply with the power from 0.09 (0.05 W) to 0.37 (10 W) at a wavelength of 240 nm. The elastic modulus and hardness of plasma polymer could be varied from 11 GPa (0.05 W) to 30 GPa (10 W) and from 1.4 to 5.9 GPa, respectively. (C) 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BG - Jaderná, atomová a molekulová fyzika, urychlovače

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Coatings Technology

ISSN

0257-8972

e-ISSN

—

Svazek periodika

201

Číslo periodika v rámci svazku

9-11

Stát vydavatele periodika

CH - Švýcarská konfederace

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

5512-5517

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—