Mechanické a optické vlastnosti plasmaticky polymerovaného vinyltrietoxysilanu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F05%3APU52372" target="_blank" >RIV/00216305:26310/05:PU52372 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Mechanical and optical properties of plasma-polymerized vinyltriethoxysilane

Popis výsledku v původním jazyce

Plasma-polymerized films of vinyltriethoxysilane were deposited by plasma-enhanced chemical vapour deposition using an RF (13.56 MHz) helical coupling plasma system operated in pulsed regime. An effective power was reduced using pulsed plasma in order todecrease the degree of cross-linking of plasma polymer, which resulted in a material of lower Young's modulus. The Young's modulus and hardness of films increased for an enlarging effective power from 5.6 (0.05 W) to 13.7 GPa (25 W) and from 0.8 to 1.7 GPa, respectively, if the time, when plasma is switched on, was fixed at 1 ms. The refractive index at a wavelength of 633 nm increased from 1.47 to 1.58 for those deposition conditions. Enlarging period the elastic modulus decreased for a constant powe rused.

Název v anglickém jazyce

Mechanical and optical properties of plasma-polymerized vinyltriethoxysilane

Popis výsledku anglicky

Plasma-polymerized films of vinyltriethoxysilane were deposited by plasma-enhanced chemical vapour deposition using an RF (13.56 MHz) helical coupling plasma system operated in pulsed regime. An effective power was reduced using pulsed plasma in order todecrease the degree of cross-linking of plasma polymer, which resulted in a material of lower Young's modulus. The Young's modulus and hardness of films increased for an enlarging effective power from 5.6 (0.05 W) to 13.7 GPa (25 W) and from 0.8 to 1.7 GPa, respectively, if the time, when plasma is switched on, was fixed at 1 ms. The refractive index at a wavelength of 633 nm increased from 1.47 to 1.58 for those deposition conditions. Enlarging period the elastic modulus decreased for a constant powe rused.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JJ - Ostatní materiály

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Coatings Technology

ISSN

0257-8972

e-ISSN

—

Svazek periodika

2005

Číslo periodika v rámci svazku

200

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

468-471

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—