Study of Er+ ion-implanted lithium niobate structure after an annealing procedure by RBS and RBS/channelling
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389005%3A_____%2F10%3A00343535" target="_blank" >RIV/61389005:_____/10:00343535 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/60461373:22310/10:00022986 RIV/44555601:13440/10:00005553
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Study of Er+ ion-implanted lithium niobate structure after an annealing procedure by RBS and RBS/channelling
Popis výsledku v původním jazyce
Erbium-doped lithium niobate (Er:LiNbO3) is a prospective photonics component, operating at = 1.5 lm, which could be used as an optical amplifier or waveguide laser. We have focused on the structure of Er:LiNbO3 layers created by 330 keV erbium ion implantation (fluences 1,0x1015, 2,5x1015and 1,0x1016 cm-2) in the X, Z and two various Y crystallographic cuts of LiNbO3. Five hours annealing at 350°C was applied to recrystallize the as-implanted layer and to avoid clustering of Er. Depth distribution of implanted Er has been measured by Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS) using 2 MeV He+ ions. Defects distribution and structural changes have been described using the RBS/channelling method. Data obtained made it possible to reveal the relations between the crystallographic orientation of the implanted crystal and the behaviour during the restoration process. The deepest modified layer has been observed in the perpendicular Y cut, which also exhibits the lowest reconstruction afte
Název v anglickém jazyce
Study of Er+ ion-implanted lithium niobate structure after an annealing procedure by RBS and RBS/channelling
Popis výsledku anglicky
Erbium-doped lithium niobate (Er:LiNbO3) is a prospective photonics component, operating at = 1.5 lm, which could be used as an optical amplifier or waveguide laser. We have focused on the structure of Er:LiNbO3 layers created by 330 keV erbium ion implantation (fluences 1,0x1015, 2,5x1015and 1,0x1016 cm-2) in the X, Z and two various Y crystallographic cuts of LiNbO3. Five hours annealing at 350°C was applied to recrystallize the as-implanted layer and to avoid clustering of Er. Depth distribution of implanted Er has been measured by Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS) using 2 MeV He+ ions. Defects distribution and structural changes have been described using the RBS/channelling method. Data obtained made it possible to reveal the relations between the crystallographic orientation of the implanted crystal and the behaviour during the restoration process. The deepest modified layer has been observed in the perpendicular Y cut, which also exhibits the lowest reconstruction afte
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BG - Jaderná, atomová a molekulová fyzika, urychlovače
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2010
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B
ISSN
0168-583X
e-ISSN
—
Svazek periodika
268
Číslo periodika v rámci svazku
11-12
Stát vydavatele periodika
NL - Nizozemsko
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000278702300076
EID výsledku v databázi Scopus
—