On angle resolved RF magnetron sputtering of Ge-Sb-Te thin films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389013%3A_____%2F09%3A00341419" target="_blank" >RIV/61389013:_____/09:00341419 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/61388980:_____/09:00341419

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

On angle resolved RF magnetron sputtering of Ge-Sb-Te thin films

Popis výsledku v původním jazyce

Thin amorphous films of Ge-Sb-Te were deposited from Ge2Sb2Te5 target by RF (f=13.56 MHz) magnetron sputtering in argon plasma. Composition and chemical homogeneity of target and prepared thin films were traced by Energy Dispersive X-ray Analysis coupledwith Scanning Electron Microscope (SEM-EDX). SEM technique was also used for surface morphology observation. Crystallinity of target and prepared thin films was studied by X-ray Diffraction (XRD). Optical parameters of prepared thin films (spectral dependence of refractive index, optical band gap energy E-g(opt)) and film thicknesses were established via Variable Angle Spectroscopic Ellipsometry (VASE) supported by UV-Vis-NIR spectroscopy. Influence of deposition conditions (RF power, At pressure, angle divergency from normal direction) to composition, crystallinity, optical properties and deposition rate was established.

Název v anglickém jazyce

On angle resolved RF magnetron sputtering of Ge-Sb-Te thin films

Popis výsledku anglicky

Thin amorphous films of Ge-Sb-Te were deposited from Ge2Sb2Te5 target by RF (f=13.56 MHz) magnetron sputtering in argon plasma. Composition and chemical homogeneity of target and prepared thin films were traced by Energy Dispersive X-ray Analysis coupledwith Scanning Electron Microscope (SEM-EDX). SEM technique was also used for surface morphology observation. Crystallinity of target and prepared thin films was studied by X-ray Diffraction (XRD). Optical parameters of prepared thin films (spectral dependence of refractive index, optical band gap energy E-g(opt)) and film thicknesses were established via Variable Angle Spectroscopic Ellipsometry (VASE) supported by UV-Vis-NIR spectroscopy. Influence of deposition conditions (RF power, At pressure, angle divergency from normal direction) to composition, crystallinity, optical properties and deposition rate was established.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

CA - Anorganická chemie

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Non-Crystalline Solids

ISSN

0022-3093

e-ISSN

—

Svazek periodika

355

Číslo periodika v rámci svazku

37-42

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000270620900037

EID výsledku v databázi Scopus

—