Vliv nepřesnosti komponent na nulovací elipsometrii s fázovou modulací

Kód výsledku v IS VaVaI

RIV/61989100:27350/05:00013348 - isvavai.cz

Nalezeny alternativní kódy

RIV/61989100:27350/05:00013349

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Influence of component imperfection on null ellipsometry with phase modulation

Popis výsledku v původním jazyce

A new null ellipsometer has been recently proposed that uses photoelastic modulator (PEM). The phase modulation adds a good signal-to-noise ratio, high sensitivity, and linearity near null positions to the traditional high-precision nulling system. The ellipsometric angles Delta and psi are obtained by azimuth measurement of the analyzer and the polarizer--PEM system, for which the first and second harmonics of modulator frequency cross the zeros. In this paper we discuss influence of component imperfection on precision of null measurement. Particular interest is devoted to azimuth angle error of compensator and modulator. Effect of residual birefringence of PEM is discussed. We show that the null system is insensitive to ellipsometer misadjustment andcomponent imperfections and modulator calibration is not needed.

Název v anglickém jazyce

Influence of component imperfection on null ellipsometry with phase modulation

Popis výsledku anglicky

A new null ellipsometer has been recently proposed that uses photoelastic modulator (PEM). The phase modulation adds a good signal-to-noise ratio, high sensitivity, and linearity near null positions to the traditional high-precision nulling system. The ellipsometric angles Delta and psi are obtained by azimuth measurement of the analyzer and the polarizer--PEM system, for which the first and second harmonics of modulator frequency cross the zeros. In this paper we discuss influence of component imperfection on precision of null measurement. Particular interest is devoted to azimuth angle error of compensator and modulator. Effect of residual birefringence of PEM is discussed. We show that the null system is insensitive to ellipsometer misadjustment andcomponent imperfections and modulator calibration is not needed.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

GA202/03/0776: Magnetooptické jevy v magnetických nanostrukturách

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Proceedings of SPIE

ISSN

0277-786X

e-ISSN

—

Svazek periodika

5856

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

143-151

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—