Přesná fázově modulační zobecněná elipsometrie anizotropních vzorků
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989100%3A27350%2F08%3A00019795" target="_blank" >RIV/61989100:27350/08:00019795 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Precise phase-modulation generalized ellipsometry of anisotropic samples
Popis výsledku v původním jazyce
A procedure for the measurement of the generalized ellipsometric angles using a phase-modulation spectroscopic ellipsometer is described. Generalized phase-modulation ellipsometry combined with zone averaging enables precise characterization of samples with generalized anisotropy including anisotropic thin films with general axis orientation, liquid crystals, gratings, and anisotropic nanostructures. We employed a UVISEL Jobin Yvon spectroscopic ellipsometer with a photoelastic modulator (PEM). The Jones matrix formalism is applied to nondepolarizing samples and ellipsometer components description. The zone averaging proposed enables elimination of azimuth-angle error and component imperfection.
Název v anglickém jazyce
Precise phase-modulation generalized ellipsometry of anisotropic samples
Popis výsledku anglicky
A procedure for the measurement of the generalized ellipsometric angles using a phase-modulation spectroscopic ellipsometer is described. Generalized phase-modulation ellipsometry combined with zone averaging enables precise characterization of samples with generalized anisotropy including anisotropic thin films with general axis orientation, liquid crystals, gratings, and anisotropic nanostructures. We employed a UVISEL Jobin Yvon spectroscopic ellipsometer with a photoelastic modulator (PEM). The Jones matrix formalism is applied to nondepolarizing samples and ellipsometer components description. The zone averaging proposed enables elimination of azimuth-angle error and component imperfection.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Phys.Status Solidi A
ISSN
0031-8965
e-ISSN
—
Svazek periodika
205
Číslo periodika v rámci svazku
4
Stát vydavatele periodika
DE - Spolková republika Německo
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—