Nulovací elipsometr s fázovou modulací

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989100%3A27350%2F04%3A00011069" target="_blank" >RIV/61989100:27350/04:00011069 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Null ellipsometer with phase modulation

Popis výsledku v původním jazyce

A new null ellipsometer is described that uses photoelasticmodulator (PEM). The phase modulation adds a good signal-to-noiseratio, high sensitivity, and linearity near null positions to the traditionalhigh-precision nulling system. The ellipsometric angles Delta and Psi areobtained by azimuth measurement of the analyzer and the polarizer-PEMsystem, for which the first and second harmonics of modulator frequencycross the zeros. We show that the null system is insensitive to ellipsometermisadjustment andcomponent imperfections and modulator calibrationis not needed. In addition, a fast ellipsometer mode for fine changesmeasurement of ellipsometric angles is proposed.

Název v anglickém jazyce

Null ellipsometer with phase modulation

Popis výsledku anglicky

A new null ellipsometer is described that uses photoelasticmodulator (PEM). The phase modulation adds a good signal-to-noiseratio, high sensitivity, and linearity near null positions to the traditionalhigh-precision nulling system. The ellipsometric angles Delta and Psi areobtained by azimuth measurement of the analyzer and the polarizer-PEMsystem, for which the first and second harmonics of modulator frequencycross the zeros. We show that the null system is insensitive to ellipsometermisadjustment andcomponent imperfections and modulator calibrationis not needed. In addition, a fast ellipsometer mode for fine changesmeasurement of ellipsometric angles is proposed.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Optics Express

ISSN

—

e-ISSN

—

Svazek periodika

24

Číslo periodika v rámci svazku

12

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

6040-6045

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—