Úprava elipsometru Gaertner L119 a jeho použití pro studium tenkých vrstev

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989100%3A27350%2F07%3A00016591" target="_blank" >RIV/61989100:27350/07:00016591 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Úprava elipsometru Gaertner L119 a jeho použití pro studium tenkých vrstev
Popis výsledku v původním jazyce
Úprava elipsometru Gaertner L119 a jeho použití pro studium tenkých vrstev
Název v anglickém jazyce
The modification of Gaertner L119 ellipsometer and its use for thin-film structures study
Popis výsledku anglicky
This article deals with modification and renovation of the ellipsometer Gaertner L119 and its using for thin-film structures study. The measurement process is fully automatized. The device works at constant wavelength in PCSA null regime and the data areobtained for various angles of incidence. The system was tested on a set of SiO2 thin-films prepared on Si single crystal wafers by thermal oxidation at 1200°C. The thicknesses obtained from experiment were compared with the results obtained by using ofYamaguchi type spectral ellipsometric system as well as with the data determined from white-light interferometry and spectral reflectometry.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/GA202%2F06%2F0531" target="_blank" >GA202/06/0531: Reflexní a vlnovodné jevy v magnetických nanostrukturách</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)