Měření tenkých vrstev užitím slabě disperzní spektrální interferometrie

Kód výsledku v IS VaVaI

RIV/61989100:27350/07:00016599 - isvavai.cz

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Measurement of thin films using slightly dispersive spectral interferometry

Popis výsledku v původním jazyce

We present a white-light spectral interferometric technique which is used for measuring the absolute spectral optical path difference (OPD) between the beams in a slightly dispersive Michelson interferometer with a thin- film structure as a mirror. Two spectral interferograms are recorded to obtain the spectral interference signal from which the spectral phase is retrieved that includes the effect of both a cube beam splitter and the phase change on reflection from the thin-film structure. Knowing the effective thickness and dispersion of the beam splitter made of BK7 optical glass, a simple procedure is used to determine both the absolute spectral phase difference and OPD. The spectral OPD is measured for a SiO2 thin film on a silicon substrate and isfitted to the theoretical spectral OPD to obtain the thin-film thickness. The theoretical spectral OPD is determined provided that the optical constants of the thin-film structure are known. We measured also the nonlinear-like spectral p

Název v anglickém jazyce

Measurement of thin films using slightly dispersive spectral interferometry

Popis výsledku anglicky

We present a white-light spectral interferometric technique which is used for measuring the absolute spectral optical path difference (OPD) between the beams in a slightly dispersive Michelson interferometer with a thin- film structure as a mirror. Two spectral interferograms are recorded to obtain the spectral interference signal from which the spectral phase is retrieved that includes the effect of both a cube beam splitter and the phase change on reflection from the thin-film structure. Knowing the effective thickness and dispersion of the beam splitter made of BK7 optical glass, a simple procedure is used to determine both the absolute spectral phase difference and OPD. The spectral OPD is measured for a SiO2 thin film on a silicon substrate and isfitted to the theoretical spectral OPD to obtain the thin-film thickness. The theoretical spectral OPD is determined provided that the optical constants of the thin-film structure are known. We measured also the nonlinear-like spectral p

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

GA202/06/0531: Reflexní a vlnovodné jevy v magnetických nanostrukturách

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of SPIE

ISBN

—

ISSN

0277-786X

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

65821-65821

Název nakladatele

SPIE-The International Society for Optical Engineering

Místo vydání

Bellingham

Místo konání akce

—

Datum konání akce

—

Typ akce podle státní příslušnosti

—

Kód UT WoS článku

—