Využití spektrální reflektometrie a interferometrie v bílém světle pro měření tenkých filmů

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47813059%3A19240%2F04%3A%230002012" target="_blank" >RIV/47813059:19240/04:#0002012 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Spectral reflectrometry and white-light interferometry used to measure thin films

Popis výsledku v původním jazyce

Two different spectral-domain techniques based on reflectometry and white-light interferometry are used to measure spectral characteristics of thin-film systems. A technique of spectral reflectometry uses a standard configuration with a halogen lamp, a reflection probe and a thin-film system under test to record the reflection spectrum over a wide range of wavelengths. A new white-light spectral interferometric technique uses a slightly dispersive Michelson interferometer with a cube beamsplitter to measure the phase spectra of reflective or transparent thin-film systems over a wide range of wavelengths. This technique is based on a Fourier transform method in processing the recorded spectral interferograms to obtain the ambiguous spectral fringe phasefunction...

Název v anglickém jazyce

Spectral reflectrometry and white-light interferometry used to measure thin films

Popis výsledku anglicky

Two different spectral-domain techniques based on reflectometry and white-light interferometry are used to measure spectral characteristics of thin-film systems. A technique of spectral reflectometry uses a standard configuration with a halogen lamp, a reflection probe and a thin-film system under test to record the reflection spectrum over a wide range of wavelengths. A new white-light spectral interferometric technique uses a slightly dispersive Michelson interferometer with a cube beamsplitter to measure the phase spectra of reflective or transparent thin-film systems over a wide range of wavelengths. This technique is based on a Fourier transform method in processing the recorded spectral interferograms to obtain the ambiguous spectral fringe phasefunction...

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE)

ISBN

0-8194-5379-X

ISSN

0277-786X

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

—

Název nakladatele

SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING

Místo vydání

BELLINGHAM, USA

Místo konání akce

Strasbourg, FRANCE

Datum konání akce

1. 1. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000224432300083