Disperzní interferometrie v bílem světle zahrnující jev tloušťky vrstvy pro měření vzdálenosti

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989100%3A27350%2F07%3A00016553" target="_blank" >RIV/61989100:27350/07:00016553 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Dispersive white-light spectral interferometry including the effect of thin-film for distance measurement

Popis výsledku v původním jazyce

A spectral-domain white-light interferometric technique is used for measuring distances in a Michelson interferometer with a mirror represented by a thin-film structure (TFS) on a substrate. A fibre-optic spectrometer is employed for recording spectral interferograms that include wide wavelength range effects of dispersion in a cube beam splitter and multiple reflection within the TFS. Knowing the effective thickness of the beam splitter, its dispersion and parameters of the TFS and substrate, the positions of the second interferometer mirror are determined precisely by a least-squares fitting of the theoretical spectral interferograms to the recorded ones. We apply the technique to the beam splitter made of BK7 optical glass and to a uniform SiO2 thinfilm on a silicon wafer. We compare the results of the processing that include and do not include the effect of the TFS.

Název v anglickém jazyce

Dispersive white-light spectral interferometry including the effect of thin-film for distance measurement

Popis výsledku anglicky

A spectral-domain white-light interferometric technique is used for measuring distances in a Michelson interferometer with a mirror represented by a thin-film structure (TFS) on a substrate. A fibre-optic spectrometer is employed for recording spectral interferograms that include wide wavelength range effects of dispersion in a cube beam splitter and multiple reflection within the TFS. Knowing the effective thickness of the beam splitter, its dispersion and parameters of the TFS and substrate, the positions of the second interferometer mirror are determined precisely by a least-squares fitting of the theoretical spectral interferograms to the recorded ones. We apply the technique to the beam splitter made of BK7 optical glass and to a uniform SiO2 thinfilm on a silicon wafer. We compare the results of the processing that include and do not include the effect of the TFS.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA202%2F06%2F0531" target="_blank" >GA202/06/0531: Reflexní a vlnovodné jevy v magnetických nanostrukturách</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Optik - International Journal for Light and Electron Optics

ISSN

0030-4026

e-ISSN

—

Svazek periodika

118

Číslo periodika v rámci svazku

7

Stát vydavatele periodika

DE - Spolková republika Německo

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

319-324

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—