měděné spoje, tenké vrstvy, strukturní změny

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989100%3A27360%2F04%3A00010137" target="_blank" >RIV/61989100:27360/04:00010137 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Modeling the self-annealing in electroplated copper films

Popis výsledku v původním jazyce

A simple phenomenological model describing experimentally observed self-annealing in copper thin films at room temperature was developed. The model proposes that the rate of grain size evolution depends primarily on the initial grain size of the as-deposited film and that the observed abnormal grain growth is viable only after desorption of incorporated additives. By calibrating to the measured data, the model has predictive capabilities for the normalized resistivity evolution of thin copper films usedin the semiconductor industry.

Název v anglickém jazyce

Modeling the self-annealing in electroplated copper films

Popis výsledku anglicky

A simple phenomenological model describing experimentally observed self-annealing in copper thin films at room temperature was developed. The model proposes that the rate of grain size evolution depends primarily on the initial grain size of the as-deposited film and that the observed abnormal grain growth is viable only after desorption of incorporated additives. By calibrating to the measured data, the model has predictive capabilities for the normalized resistivity evolution of thin copper films usedin the semiconductor industry.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JG - Hutnictví, kovové materiály

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GP101%2F03%2FP165" target="_blank" >GP101/03/P165: Vývoj mikrostruktury tenkých vrstev elektrochemicky nanášené mědi pro spoje v mikročipech při teplotách blízkých pokojové</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Zeszyty Naukowe, Mechanika

ISBN

1429-6065

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

73-78

Název nakladatele

Politechnika Opolska

Místo vydání

Opole

Místo konání akce

Rožnov pod Radhoštěm

Datum konání akce

30. 12. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—