Measurement uncertainty of white-light interferometry on optically rough surfaces
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F11%3A33117926" target="_blank" >RIV/61989592:15310/11:33117926 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Measurement uncertainty of white-light interferometry on optically rough surfaces
Popis výsledku v původním jazyce
White-light interferometry on rough surfaces is an optical method for the measurement of the geometrical form of objects. The longitudinal coordinate of the measured surface is obtained from the measured interferogram by means of an evaluation method. However, the longitudinal coordinate cannot be determined completely accurately because the interferogram is affected by noise. We calculate the lower limit of the longitudinal measurement uncertainty caused by noise by use of the Cramer-Rao inequality. Additionally, we calculate the lower limit of the longitudinal measurement uncertainty caused by shot noise only.
Název v anglickém jazyce
Measurement uncertainty of white-light interferometry on optically rough surfaces
Popis výsledku anglicky
White-light interferometry on rough surfaces is an optical method for the measurement of the geometrical form of objects. The longitudinal coordinate of the measured surface is obtained from the measured interferogram by means of an evaluation method. However, the longitudinal coordinate cannot be determined completely accurately because the interferogram is affected by noise. We calculate the lower limit of the longitudinal measurement uncertainty caused by noise by use of the Cramer-Rao inequality. Additionally, we calculate the lower limit of the longitudinal measurement uncertainty caused by shot noise only.
Klasifikace
Druh
C - Kapitola v odborné knize
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/ED2.1.00%2F03.0058" target="_blank" >ED2.1.00/03.0058: Regionální centrum pokročilých technologií a materiálů</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název knihy nebo sborníku
Numerical Simulations of Physical and Engineering Processes
ISBN
978-953-307-620-1
Počet stran výsledku
12
Strana od-do
491-502
Počet stran knihy
594
Název nakladatele
InTech
Místo vydání
Rijeka, Croatia
Kód UT WoS kapitoly
—