Mechanical properties of Al thin films measured by microcompression

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081723%3A_____%2F11%3A00369042" target="_blank" >RIV/68081723:_____/11:00369042 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Mechanical properties of Al thin films measured by microcompression

Popis výsledku v původním jazyce

Two modern experimental techniques, the focused ion beam milling and the nanoindentation, were applied in order to measure exactly plastic properties of a Al-1.5%Cu thin film prepared by the physical vapour deposition, used for electrical connection of integrated circuits. By focused ion beam milling, cylindrical specimens were prepared. The height of the specimens was equal to the film thickness (2 micrometers) and their diameter was about 1.3 micrometers. These specimens were subjected to the compressive loading using the nanoindenter equipped by a flat punch. It is possible to obtain stress-strain curves of the thin film rather precisely.

Název v anglickém jazyce

Mechanical properties of Al thin films measured by microcompression

Popis výsledku anglicky

Two modern experimental techniques, the focused ion beam milling and the nanoindentation, were applied in order to measure exactly plastic properties of a Al-1.5%Cu thin film prepared by the physical vapour deposition, used for electrical connection of integrated circuits. By focused ion beam milling, cylindrical specimens were prepared. The height of the specimens was equal to the film thickness (2 micrometers) and their diameter was about 1.3 micrometers. These specimens were subjected to the compressive loading using the nanoindenter equipped by a flat punch. It is possible to obtain stress-strain curves of the thin film rather precisely.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JJ - Ostatní materiály

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Applied Mechanics 2011

ISBN

978-80-87434-03-1

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

123-126

Název nakladatele

Institute of Physics of Materials, Academy of Sciences of the Czech Republic

Místo vydání

Brno, Česká republika

Místo konání akce

Velké Bílovice

Datum konání akce

18. 4. 2011

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—