Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F10%3APU87651" target="_blank" >RIV/00216305:26210/10:PU87651 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68081723:_____/10:00353917
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty
Popis výsledku v původním jazyce
Nová metoda měření mechanických vlastností tenkých vrstev je popsána v tomto článku. Metoda kombinuje přípravu vzorků fokusovaným iontovým svazkem (FIB) a následnou kompresi pomocí nanoindentačního zařízení. Kompresní vzorky byly připraveny z tenké Al vrstvy která je běžně používána v elektrických obvodech. Byly připraveny válcové pilířky jejichž vyýška byla dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry) a průměr se pohyboval okolo 1,3 mikrometru. Jelikož pilířky jsou monokrystalické, výsledky silně závisí na krystalografické orientaci pilířku. Orientace byla určena pomocí EBSD. Křivky napětí deformace byly získány ve dvou reprezentacích.
Název v anglickém jazyce
Nanocompression of oriented pillars from Al thin film
Popis výsledku anglicky
In this paper, a new method of measurement of mechanical properties of thin films is presented. This method combines specimen preparation by focused ion beam (FIB) and compression test using nanoindentation device. Compression specimens were prepared from thin film, Al-1.5%Cu, which is commonly used in integrated circuit. Cylindrical specimens were prepared by FIB milling. The height of specimens (pillars) was about 2 mircrometers (equal to the film thickness) and their diameter was about 1.3 micrometers. The pillars are single crystalline, therefore the results depend on crystallographic orientation of pillar, which was specified by EBSD (electron backscatter diffraction). Stress-strain curves of the thin film were obtained in two representations.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JR - Ostatní strojírenství
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2010
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Engineering mechanics 2010
ISBN
978-80-87012-26-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
8
Strana od-do
—
Název nakladatele
Neuveden
Místo vydání
Neuveden
Místo konání akce
Svratka
Datum konání akce
10. 5. 2010
Typ akce podle státní příslušnosti
CST - Celostátní akce
Kód UT WoS článku
—