Osvětlovací systém s velmi pomalými elektrony pro studium povrchů

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F01%3A00205547" target="_blank" >RIV/68081731:_____/01:00205547 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

A very low energy electron column for surface studies

Popis výsledku v původním jazyce

We report on the development of a small size (9 cm in length and 4.5 in diameter) all electrostatic field emission column for use in surface analysis and very low energy studies. The column focuses a beam of electrons over the energy range of 1-10,000 eVthrough the use of the cathode lens mode. The cathode lens mode employs an in-lens electron detector, which is placed between the gun lens and the objective lens. An electron beam diameterof 80 nm and beam current of order 10-9 A are predicted for a working distance of 5 mm and electron beam energy of 5 keV. When the column is operated in the cathode lens mode, an electron beam diameter <250 nm at 10 eV is expected.

Název v anglickém jazyce

A very low energy electron column for surface studies

Popis výsledku anglicky

We report on the development of a small size (9 cm in length and 4.5 in diameter) all electrostatic field emission column for use in surface analysis and very low energy studies. The column focuses a beam of electrons over the energy range of 1-10,000 eVthrough the use of the cathode lens mode. The cathode lens mode employs an in-lens electron detector, which is placed between the gun lens and the objective lens. An electron beam diameterof 80 nm and beam current of order 10-9 A are predicted for a working distance of 5 mm and electron beam energy of 5 keV. When the column is operated in the cathode lens mode, an electron beam diameter <250 nm at 10 eV is expected.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the Institute of Physics electron microscopy and analysis group conference

ISBN

0-7503-0812-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

111-114

Název nakladatele

Institute of Physics Publishing

Místo vydání

Bristol

Místo konání akce

Dundee

Datum konání akce

5. 9. 2001

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—