Electron beam induced current measurement on a specimen biased in a cathode lens

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F09%3A00335265" target="_blank" >RIV/68081731:_____/09:00335265 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Electron beam induced current measurement on a specimen biased in a cathode lens

Popis výsledku v původním jazyce

The retarding potential between the specimen and an anode, a cathode lens, is already commonly used for high resolution imaging at very low electron beam energies, even below 10 eV, in a scanning electron microscope (SEM). Standard configuration consistsof an electron column (either magnetic or electrostatic), YAG single-crystal scintillator positioned under the objective lens, used as an anode, and an insulated specimen used as a cathode of the cathode lens. The microscope with the cathode lens can beused not only to acquire standard signals as secondary electrons (SE) and backscattered electrons (BSE); transmitted electrons (STEM) and electron beam induced current (EBIC) can be used as well. Two problems are addressed. First, we have to bring a high voltage on the insulated specimen in the microscope chamber, and second, we have to solve the induced current measurement on the high voltage level.

Název v anglickém jazyce

Electron beam induced current measurement on a specimen biased in a cathode lens

Popis výsledku anglicky

The retarding potential between the specimen and an anode, a cathode lens, is already commonly used for high resolution imaging at very low electron beam energies, even below 10 eV, in a scanning electron microscope (SEM). Standard configuration consistsof an electron column (either magnetic or electrostatic), YAG single-crystal scintillator positioned under the objective lens, used as an anode, and an insulated specimen used as a cathode of the cathode lens. The microscope with the cathode lens can beused not only to acquire standard signals as secondary electrons (SE) and backscattered electrons (BSE); transmitted electrons (STEM) and electron beam induced current (EBIC) can be used as well. Two problems are addressed. First, we have to bring a high voltage on the insulated specimen in the microscope chamber, and second, we have to solve the induced current measurement on the high voltage level.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/IAA100650803" target="_blank" >IAA100650803: Koherentní zobrazování nanostruktur v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu s plošným detektorem elektronů</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

MC 2009 - Microscopy Conference: First Joint Meeting of Dreiländertagung and Multinational Conference on Microscopy

ISBN

978-3-85125-062-6

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

—

Název nakladatele

Verlag der Technischen Universität

Místo vydání

Graz

Místo konání akce

Graz

Datum konání akce

30. 8. 2009

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—