Manipulátor vzorku pro ultra-vysoko-vakuový rastrovací elektronový mikroskop s pomalými elektrony
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F09%3A00336643" target="_blank" >RIV/68081731:_____/09:00336643 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Manipulátor vzorku pro ultra-vysoko-vakuový rastrovací elektronový mikroskop s pomalými elektrony
Popis výsledku v původním jazyce
Funkční vzor manipulátoru vzorku je určen pro ultravysokovakuový rastrovací mikroskop s pomalými elektrony, vybavený tzv. katodovou čočkou, která přivádí na preparát vysoký potenciál. Tím jsou dopadající elektrony brzděny na libovolně nízkou energii dopadu. Preparát je jednou z elektrod katodové čočky a proto musí být k dispozici extrémně přesné vyrovnání rovnoběžnosti aktivního povrchu vzorku s anodou katodové čočky pomocí dvou jemně ovladatelných, nezávislých náklonů vzorku v navzájem kolmých rovinách. Manipulátor umožňuje dosáhnout zobrazení vzorku při libovolně nízké energii elektronů s vysokým rozlišením.
Název v anglickém jazyce
Specimen manipulator for the ultra-high-vacuum scanning electron microscope with slow electrons
Popis výsledku anglicky
The function sample of the specimen stage is intended for an ultrahigh vacuum scanning microscope with slow electrons, equipped with so called cathode lens biasing the specimen to a high potential. In this way the incident electrons are retarded to an arbitrarily low energy of impact. The specimen represents one electrode of the cathode lens so an extremely precise balancing of parallelism of its surface with respect to the anode of the cathode lens is necessary by means of two finely controllable, independent specimen tilts in mutually perpendicular planes is necessary. The specimen stage enables one to image the specimen at arbitrarily low energy of electrons at high resolution.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2009
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
5511-2
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Vysoce stabilní manipulátor pro práci v tlaku 10E-8 Pa, plynule regulovatelné pohyby +- 5 mm v rovině v obou směrech a +- 10,5 mm ve svislém směru, přesný náklon +-5 deg ve dvou navzájem kolmých směrech, rotace +- 8 deg
Ekonomické parametry
Funkční vzor je doprovázen kompletní výkresovou dokumentací a je experimentálně odzkoušen při dlouhodobém zkušebním provozu. Je vhodný pro UHV aparatury ke studiu čistých povrchů pevných látek.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68081731
Název vlastníka
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—