Fully electrostatic low energy scanning electron column.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F02%3A12020054" target="_blank" >RIV/68081731:_____/02:12020054 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Fully electrostatic low energy scanning electron column.

Popis výsledku v původním jazyce

The exploitation of low-energy electrons for examination of the material surfaces has several advantages. One of them is a small depth penetration of the primary electrons (PE) to the observed material. At low energies the charging effects on non-conductive or slightly conductive specimens are suppressed and also radiation damage of the observed specimen is decreased. Since the secondary electron (SE) yield is high, the signal to noise ratio (SNR) is about one order of magnitude larger than those in microscopes operated at 20kV.

Název v anglickém jazyce

Fully electrostatic low energy scanning electron column.

Popis výsledku anglicky

The exploitation of low-energy electrons for examination of the material surfaces has several advantages. One of them is a small depth penetration of the primary electrons (PE) to the observed material. At low energies the charging effects on non-conductive or slightly conductive specimens are suppressed and also radiation damage of the observed specimen is decreased. Since the secondary electron (SE) yield is high, the signal to noise ratio (SNR) is about one order of magnitude larger than those in microscopes operated at 20kV.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2002

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 8.sup.th./sup. international seminar, held in Skalský dvůr.

ISBN

80-238-8986-9

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

33-34

Název nakladatele

Ústav přístrojové techniky Akademie věd České republiky

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Skalský dvůr [CZ]

Datum konání akce

8. 7. 2002

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—