Elektronová spektro-mikroskopie s mnohakanálovou detekcí signálu.
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F02%3A12020139" target="_blank" >RIV/68081731:_____/02:12020139 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Elektronová spektro-mikroskopie s mnohakanálovou detekcí signálu.
Popis výsledku v původním jazyce
Cílem disertace je studium mnohakanálové spektroskopie elektronů (sekundárních, pružně i nepružně odražených a Augerových) v rastrovacím elektronovém mikroskopu, a to s ohledem na různé typy analyzátorů a detektorů a s přihlédnutím k poměru signálu k šumu v detektovaných signálech. Dalším cílem je vytvoření softwaru pro elektronické zpracování obrazu vzorku zprostředkujícího kombinovanou analytickou a mikroskopickou informaci. V experimentální části je jedním z hlavních cílů ověření metodiky na ultravysokovakuovém mikroskopu s pomalými elektrony, který v rámci řešení této disertace bude vybaven paralelním hyperbolickým analyzátorem elektronů.
Název v anglickém jazyce
Secondary electron contrast of doped regions in semiconductor.
Popis výsledku anglicky
The aim of the dissertation is study of multi-channel spectroscopy of electrons (secondary, both elastically and non-ellastically reflected as well as the Auger ones) in a scanning electron microscope with respect to the signal-to-noise ratio in detectedsignals. Another aim is to write software for electronic processing of an image of a specimen providing combined analytical and microscopic information. Verification of the methodology at an ultra-high vacuum microscope with slow electrons, which will be equipped with a parallel hyperbolic electrons analyzer in the scope of the project, is one of main goals of the experimental part.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/IAA1065901" target="_blank" >IAA1065901: Vlnově optické kontrasty v rastrovacím elektronovém mikroskopu</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2002
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Sborník prací prezentovaných na Semináři doktorandů oboru Elektronová optika konaném dne 16. 12. 2002.
ISBN
80-238-9915-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
7-10
Název nakladatele
Ústav přístrojové techniky AV ČR
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Brno [CZ]
Datum konání akce
16. 12. 2002
Typ akce podle státní příslušnosti
CST - Celostátní akce
Kód UT WoS článku
—