Vysoce přesná měření pro nanometrologii délek
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109089" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109089 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Ultra-precise distance measurement for nanometrology
Popis výsledku v původním jazyce
We present experimental results achieved by a method of direct conversion of the relative changes of the measurement optical path of Michelson interferometer to relative changes of the resonant optical-frequency of Fabry-Perot (F.-P.) resonator. Thanks to ultra-precise determination of the optical frequency changes by means of laser frequency standard we are able to measure distance changes with sub-nanometer resolution. We developed this method for verification of scale-linearity of Michelson interferometer with total resolution 0.3 nm
Název v anglickém jazyce
Ultra-precise distance measurement for nanometrology
Popis výsledku anglicky
We present experimental results achieved by a method of direct conversion of the relative changes of the measurement optical path of Michelson interferometer to relative changes of the resonant optical-frequency of Fabry-Perot (F.-P.) resonator. Thanks to ultra-precise determination of the optical frequency changes by means of laser frequency standard we are able to measure distance changes with sub-nanometer resolution. We developed this method for verification of scale-linearity of Michelson interferometer with total resolution 0.3 nm
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/IAA2065202" target="_blank" >IAA2065202: Frekvenční metody měření geometrických veličin</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2004
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proceedings of SPIE - The International society for optical engineering. Optical Metrology in Production Engineering. (Vol. 5457)
ISBN
0-8194-5379-X
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
22-25
Název nakladatele
SPIE
Místo vydání
Strasbourg
Místo konání akce
Strasbourg
Datum konání akce
26. 4. 2004
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—