Korekce zvětšení a zaostření v rastrovacím elektronovém mikroskopu s katodovou čočkou

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F06%3A00043765" target="_blank" >RIV/68081731:_____/06:00043765 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Corrections of Magnification and Focusing in a Cathode Lens-Equipped Scanning Electron Microscope

Popis výsledku v původním jazyce

One of the well-proven and efficient methods of obtaining a very low-energy impact of primary electrons in the scanning electron microscope is to introduce a retarding field element below the pole piece of the objective lens (OL). It is advantageous to use the specimen alone as the negatively biased electrode (i.e., cathode of the cathode lens). The optical power of the cathode lens modifies some of the standard parameters of the image formation such as relation of working distance to OL excitation or magnification to the scanning coils current, the impact angle of primary electrons, and so forth. In computer-controlled electron microscopes these parameters, particularly with regard to focusing and magnification, can be corrected automatically. Derivation of algorithms for such corrections and their experimental verifications are presented in this paper. Furthermore, a more accurate analytical expression for the focal length of an aperture lens is derived.

Název v anglickém jazyce

Corrections of Magnification and Focusing in a Cathode Lens-Equipped Scanning Electron Microscope

Popis výsledku anglicky

One of the well-proven and efficient methods of obtaining a very low-energy impact of primary electrons in the scanning electron microscope is to introduce a retarding field element below the pole piece of the objective lens (OL). It is advantageous to use the specimen alone as the negatively biased electrode (i.e., cathode of the cathode lens). The optical power of the cathode lens modifies some of the standard parameters of the image formation such as relation of working distance to OL excitation or magnification to the scanning coils current, the impact angle of primary electrons, and so forth. In computer-controlled electron microscopes these parameters, particularly with regard to focusing and magnification, can be corrected automatically. Derivation of algorithms for such corrections and their experimental verifications are presented in this paper. Furthermore, a more accurate analytical expression for the focal length of an aperture lens is derived.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/KJB2065301" target="_blank" >KJB2065301: Vybrané aplikace a další rozvoj metody zobrazení nevodivých preparátů v SEM s katodovou čočkou</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Scanning

ISSN

0161-0457

e-ISSN

—

Svazek periodika

28

Číslo periodika v rámci svazku

3

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

155-163

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—