Snímání úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů v rastrovacím nízkoenergiovém elektronovém mikroskopu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F06%3A00050937" target="_blank" >RIV/68081731:_____/06:00050937 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Acquisition of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope

Popis výsledku v původním jazyce

New eight-channel detector for acquisition of the angular distribution of backscattered electrons has been designed and tested. The detector is based on a multi-channel plate followed by eight concentric circular collectors centred to the optical axis. High collection efficiency and high amplification of the detector down to 100 eV of emission energy is secured by action of the cathode lens. In first experiments the detector has proved itself useful for imaging of polycrystalline structures.

Název v anglickém jazyce

Acquisition of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope

Popis výsledku anglicky

New eight-channel detector for acquisition of the angular distribution of backscattered electrons has been designed and tested. The detector is based on a multi-channel plate followed by eight concentric circular collectors centred to the optical axis. High collection efficiency and high amplification of the detector down to 100 eV of emission energy is secured by action of the cathode lens. In first experiments the detector has proved itself useful for imaging of polycrystalline structures.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA102%2F05%2F2327" target="_blank" >GA102/05/2327: Přímé zobrazení rozložení dopantů v polovodiči pomocí pomalých elektronů</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

6th Japanese-Polish Joint Seminar on Materials Analysis

ISBN

4-9903248-0-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

13-14

Název nakladatele

University of Toyama

Místo vydání

Toyama

Místo konání akce

Toyama

Datum konání akce

11. 9. 2006

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—