Mnohakanálová detekce úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů v rastrovacím nízkoenergiovém elektronovém mikroskopu

Kód výsledku v IS VaVaI

RIV/68081731:_____/06:00044292 - isvavai.cz

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Multi-Channel Detection of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope

Popis výsledku v původním jazyce

A multi-channel plate based detector of backscattered electrons (BSE) with eight-channel collector has been designed and tested. Combination of with the cathode lens enables one to acquire also slow BSE and high-angle emitted BSE that are not acquired with standard detector assemblies. Basic performance data are presented.

Název v anglickém jazyce

Multi-Channel Detection of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope

Popis výsledku anglicky

A multi-channel plate based detector of backscattered electrons (BSE) with eight-channel collector has been designed and tested. Combination of with the cathode lens enables one to acquire also slow BSE and high-angle emitted BSE that are not acquired with standard detector assemblies. Basic performance data are presented.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

GA102/05/2327: Přímé zobrazení rozložení dopantů v polovodiči pomocí pomalých elektronů

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Microscopy and Microanalysis

ISSN

1431-9276

e-ISSN

—

Svazek periodika

12

Číslo periodika v rámci svazku

Suppl. 2

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—