Mnohakanálová detekce úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů v rastrovacím nízkoenergiovém elektronovém mikroskopu

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F06%3A00044292" target="_blank" >RIV/68081731:_____/06:00044292 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Multi-Channel Detection of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope
Popis výsledku v původním jazyce
A multi-channel plate based detector of backscattered electrons (BSE) with eight-channel collector has been designed and tested. Combination of with the cathode lens enables one to acquire also slow BSE and high-angle emitted BSE that are not acquired with standard detector assemblies. Basic performance data are presented.
Název v anglickém jazyce
Multi-Channel Detection of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope
Popis výsledku anglicky
A multi-channel plate based detector of backscattered electrons (BSE) with eight-channel collector has been designed and tested. Combination of with the cathode lens enables one to acquire also slow BSE and high-angle emitted BSE that are not acquired with standard detector assemblies. Basic performance data are presented.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/GA102%2F05%2F2327" target="_blank" >GA102/05/2327: Přímé zobrazení rozložení dopantů v polovodiči pomocí pomalých elektronů</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2006
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)