Mnohakanálový detektor pomalých zpětně odražených elektronů
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F07%3A00095347" target="_blank" >RIV/68081731:_____/07:00095347 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Mnohakanálový detektor pomalých zpětně odražených elektronů
Popis výsledku v původním jazyce
Byl navržen, zkonstruován, vyroben a vyzkoušen paralelní osmikanálový detektor úhlového rozložení pomalých, zpětně odražených elektronů se zesilovačem na bázi kanálkové destičky pro rastrovací elektronový mikroskop. Detektor je schopen zachytit elektronyodražené s polárním úhlem emise až do 90deg s energií od několika set eV do několika desítek keV. Systém využívá principu katodové čočky a proto je možné plynule měnit jak energii dopadajících elektronů tak úhlové rozložení emitovaných elektronů ze vzorku. Experimenty potvrdily úhlovou selektivitu kontrastu krystalické struktury.
Název v anglickém jazyce
Multichannel detector of low energy backscattered electrons
Popis výsledku anglicky
Parallel eight channels detector of the angular distribution of low energy backscattered electrons, based on the amplifier formed by the multi-channel-plate detector was design and tested in the scanning electron microscope. Detector is able to collect backscattered electrons with the polar angle of the emission up to 90deg, with the energy from several hundred eV up to several tens of keV. The system is using a cathode lens principle; therefore it is possible to fluently control not only the landing energy of primary electrons but even the angular distribution of the emitted electrons from the specimen. The experiments confirmed the angular sensitivity of the crystallographic contrast.
Klasifikace
Druh
X - Nezařazeno
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů