Interferometrie s vysokým rozlišením a Nd:YAG laserem pro mikroskopii s lokální sondou

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00314941" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00314941 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

High-resolution interferometry with Nd:YAG laser for local probe mícroscopy

Popis výsledku v původním jazyce

We present a system of positioning a sample for various types of local probe microscopes with interferometric measurement of displacement. The positioning extends significantly the field of view of the local probe microscopy where not only the probe canbe displaced over a small range by piezoelectric transducers but the sample can be positioned over a larger scale. The stage allows positioning with nanometer resolution in all three axes under a closed loop control with position detection via capacitivesensors. Interferometric system monitoring all six degrees of freedom of the stage ensures full metrological traceability of the positioning to the fundamental etalon of length and improves resolution and overall precision of the displacement monitoring.

Název v anglickém jazyce

High-resolution interferometry with Nd:YAG laser for local probe mícroscopy

Popis výsledku anglicky

We present a system of positioning a sample for various types of local probe microscopes with interferometric measurement of displacement. The positioning extends significantly the field of view of the local probe microscopy where not only the probe canbe displaced over a small range by piezoelectric transducers but the sample can be positioned over a larger scale. The stage allows positioning with nanometer resolution in all three axes under a closed loop control with position detection via capacitivesensors. Interferometric system monitoring all six degrees of freedom of the stage ensures full metrological traceability of the positioning to the fundamental etalon of length and improves resolution and overall precision of the displacement monitoring.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Ninth International Symposium on Laser Metrology. (Proceedings of SPIE Vol. 7155)

ISBN

978-0-8194-7398-1

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

8

Strana od-do

—

Název nakladatele

SPIE

Místo vydání

Bellingham

Místo konání akce

Singapore

Datum konání akce

30. 6. 2008

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—