Interferometrické měření polohy pro mikroskopii s lokální sondou

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00316634" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00316634 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Interferometric displacement measurement for local probe microscopy

Popis výsledku v původním jazyce

We present an arrangement for positioning and interferometric measurement of a sample for various types of local probe microscopes. The positioning extends significantly the field of view of the local probe microscopy where the stage allows motion with nanometer resolution in all three axes under a closed loop control with position detection via capacitive sensors. Interferometric system monitoring all six degrees of freedom of the stage ensures full metrological traceability of the positioning to the fundamental etalon of length and improves resolution and overall precision of the displacement monitoring.

Název v anglickém jazyce

Interferometric displacement measurement for local probe microscopy

Popis výsledku anglicky

We present an arrangement for positioning and interferometric measurement of a sample for various types of local probe microscopes. The positioning extends significantly the field of view of the local probe microscopy where the stage allows motion with nanometer resolution in all three axes under a closed loop control with position detection via capacitive sensors. Interferometric system monitoring all six degrees of freedom of the stage ensures full metrological traceability of the positioning to the fundamental etalon of length and improves resolution and overall precision of the displacement monitoring.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

ICPM 2008 - International Conference on Precision Measurement

ISBN

978-3-938843-38-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

—

Název nakladatele

Technische Universität llmenau

Místo vydání

llmenau

Místo konání akce

Ilmenau

Datum konání akce

8. 9. 2008

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—