Green Light Interferometry for Metrological SPM Positioning

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F09%3A00335098" target="_blank" >RIV/68081731:_____/09:00335098 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00177016:_____/09:#0000354

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Green Light Interferometry for Metrological SPM Positioning

Popis výsledku v původním jazyce

We present an arrangement for dimensional metrology of nanostructures based on various techniques of scanning probe microscopy (SPM) combined with a precision positioning of a sample. The system was developed to operate at and in cooperation with the Czech metrology institute for calibration purposes and nanometrology. Traceability of the position monitoring and control of the scanning stage is ensured by full six axes interferometric displacement measurements. The interferometers are supplied from a frequency doubled Nd:YAG laser stabilized by linear absorption spectroscopy in molecular iodine.

Název v anglickém jazyce

Green Light Interferometry for Metrological SPM Positioning

Popis výsledku anglicky

We present an arrangement for dimensional metrology of nanostructures based on various techniques of scanning probe microscopy (SPM) combined with a precision positioning of a sample. The system was developed to operate at and in cooperation with the Czech metrology institute for calibration purposes and nanometrology. Traceability of the position monitoring and control of the scanning stage is ensured by full six axes interferometric displacement measurements. The interferometers are supplied from a frequency doubled Nd:YAG laser stabilized by linear absorption spectroscopy in molecular iodine.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

MOC'09 - 15th Microoptics Conference

ISBN

978-4-86348-037-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

—

Název nakladatele

Microoptics Group (OSJ/JSAP)

Místo vydání

Tokyo

Místo konání akce

Tokyo

Datum konání akce

25. 10. 2009

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—