Laser interferometric measuring system for positioning in nanometrology

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F10%3A00351325" target="_blank" >RIV/68081731:_____/10:00351325 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Laser interferometric measuring system for positioning in nanometrology

Popis výsledku v původním jazyce

In this contribution we present a development of a system for dimensional nanometrology based on scanning probe microscopy techniques (primarily atomic force microscopy, AFM) for detection of sample profile combined with interferometer controlled positioning. The key goal for introduction of interferometer measurement is not only improvement of resolution but the direct traceability to the primary etalon of length. Interferometry compared to a host of other optical length measuring techniques [1,2,3...]represents the most precise measuring technique available. The system is being developed to operate at and in cooperation with the Czech metrology institute for calibration purposes and nanometrology.

Název v anglickém jazyce

Laser interferometric measuring system for positioning in nanometrology

Popis výsledku anglicky

In this contribution we present a development of a system for dimensional nanometrology based on scanning probe microscopy techniques (primarily atomic force microscopy, AFM) for detection of sample profile combined with interferometer controlled positioning. The key goal for introduction of interferometer measurement is not only improvement of resolution but the direct traceability to the primary etalon of length. Interferometry compared to a host of other optical length measuring techniques [1,2,3...]represents the most precise measuring technique available. The system is being developed to operate at and in cooperation with the Czech metrology institute for calibration purposes and nanometrology.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2010

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

WSEAS Transactions on Circuits and Systems

ISSN

1109-2734

e-ISSN

—

Svazek periodika

9

Číslo periodika v rámci svazku

10

Stát vydavatele periodika

GR - Řecká republika

Počet stran výsledku

10

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—