Multiaxis interferometric system for positioning in nanometrology

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F10%3A00352186" target="_blank" >RIV/68081731:_____/10:00352186 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Multiaxis interferometric system for positioning in nanometrology

Popis výsledku v původním jazyce

We present a system for dimensional nanometrology based on scanning probe microscopy techniques (primarily atomic force microscopy, AFM) for detection of sample profile combined with interferometer controlled positioning. The interferometric setup not only improves resolution of the position control but also ensures direct traceability to the primary etalon of length. The system was developed to operate at and in cooperation with the Czech metrology institute for calibration purposes and nanometrology.The interferometers are supplied from a frequency doubled Nd:YAG laser stabilized by linear absorption spectroscopy in molecular iodine and the interferometric configuration controls the stage position in all six degrees of freedom.

Název v anglickém jazyce

Multiaxis interferometric system for positioning in nanometrology

Popis výsledku anglicky

We present a system for dimensional nanometrology based on scanning probe microscopy techniques (primarily atomic force microscopy, AFM) for detection of sample profile combined with interferometer controlled positioning. The interferometric setup not only improves resolution of the position control but also ensures direct traceability to the primary etalon of length. The system was developed to operate at and in cooperation with the Czech metrology institute for calibration purposes and nanometrology.The interferometers are supplied from a frequency doubled Nd:YAG laser stabilized by linear absorption spectroscopy in molecular iodine and the interferometric configuration controls the stage position in all six degrees of freedom.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2010

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 9th WSEAS International Conference on Microelectronics, Nanoelectronics, Optoelectronic

ISBN

978-954-92600-3-8

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Název nakladatele

WSEAS EUROPMENT Press

Místo vydání

Sofia

Místo konání akce

Catania

Datum konání akce

29. 5. 2010

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—