Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Interferometer Controlled Positioning for Nanometrology

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F10%3A00352196" target="_blank" >RIV/68081731:_____/10:00352196 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Interferometer Controlled Positioning for Nanometrology

  • Popis výsledku v původním jazyce

    We present a system for dimensional nanometrology based on scanning probe microscopy techniques (primarily atomic force microscopy, AFM) for detection of sample profile combined with interferometer controlled positioning. The interferometric setup not only improves resolution of the position control but also ensures direct traceability to the primary etalon of length. The system was developed to operate at and in cooperation with the Czech metrology institute for calibration purposes and nanometrology.The interferometers are supplied from a frequency doubled Nd:YAG laser stabilized by linear absorption spectroscopy in molecular iodine and the interferometric configuration controls the stage position in all six degrees of freedom.

  • Název v anglickém jazyce

    Interferometer Controlled Positioning for Nanometrology

  • Popis výsledku anglicky

    We present a system for dimensional nanometrology based on scanning probe microscopy techniques (primarily atomic force microscopy, AFM) for detection of sample profile combined with interferometer controlled positioning. The interferometric setup not only improves resolution of the position control but also ensures direct traceability to the primary etalon of length. The system was developed to operate at and in cooperation with the Czech metrology institute for calibration purposes and nanometrology.The interferometers are supplied from a frequency doubled Nd:YAG laser stabilized by linear absorption spectroscopy in molecular iodine and the interferometric configuration controls the stage position in all six degrees of freedom.

Klasifikace

  • Druh

    D - Stať ve sborníku

  • CEP obor

    BH - Optika, masery a lasery

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2010

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název statě ve sborníku

    Proceedings of the International Conference on Nanotechnology: Fundamentals and Applications

  • ISBN

    978-0-9867183-0-4

  • ISSN

  • e-ISSN

  • Počet stran výsledku

    5

  • Strana od-do

  • Název nakladatele

    International ASET

  • Místo vydání

    Ottawa

  • Místo konání akce

    Ottawa

  • Datum konání akce

    4. 8. 2010

  • Typ akce podle státní příslušnosti

    WRD - Celosvětová akce

  • Kód UT WoS článku