Multiaxis interferometric displacement measurement for local probe microscopy
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F12%3A00372559" target="_blank" >RIV/68081731:_____/12:00372559 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/00177016:_____/12:#0000543
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Multiaxis interferometric displacement measurement for local probe microscopy
Popis výsledku v původním jazyce
We present an overview of design approaches for nanometrology measuring setups with a focus on interferometry techniques and associated problems. The design and development of a positioning system with interferometric multiaxis monitoring and control ispresented. The system is intended to operate as a national nanometrology standard combining local probe microscopy techniques and sample position control with traceability to the primary standard of length.
Název v anglickém jazyce
Multiaxis interferometric displacement measurement for local probe microscopy
Popis výsledku anglicky
We present an overview of design approaches for nanometrology measuring setups with a focus on interferometry techniques and associated problems. The design and development of a positioning system with interferometric multiaxis monitoring and control ispresented. The system is intended to operate as a national nanometrology standard combining local probe microscopy techniques and sample position control with traceability to the primary standard of length.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Central European Journal of Physics
ISSN
1895-1082
e-ISSN
—
Svazek periodika
10
Číslo periodika v rámci svazku
1
Stát vydavatele periodika
PL - Polská republika
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
225-231
Kód UT WoS článku
000297743800028
EID výsledku v databázi Scopus
—