Pokročilé interferometrické systémy pro měření v nanotechnologiích

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F13%3A00421265" target="_blank" >RIV/68081731:_____/13:00421265 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Pokročilé interferometrické systémy pro měření v nanotechnologiích

Popis výsledku v původním jazyce

Příspěvek popisuje výsledky společného projektu ÚPT a firmy Meopta ? optika zaměřeného na vývoj interferometrických systémů pro měření v nanotechnologiích. Na ÚPT AV ČR jde o navázání na výsledky výzkumu na poli interferometrického měření vzdáleností a laserů s vysokou koherencí, stabilizace optické frekvence laserů a laserové metrologie. Jde o výzkumné práce zaměřené na průmyslovou interferometrii a v součinnosti s firmou Meopta - optika, s.r.o. o předání potřebného know-how pro přípravu výroby. Náplňprojektu je zaměřená na výzkum technologie výroby, metodiky interferometrického měření, stabilizace frekvence laserových zdrojů záření, detekčních systémů interferenčního signálu, zpracování signálů, vše s důrazem na přesnost a rozlišení primárně pro měření v nanosvětě. Cílem společného úsilí je komplexní interferometrický měřicí systém v podobě funkčního vzoru, který bude sloužit jako východisko pro výrobu. Půjde o modulární rodinu komponentů konfigurovatelných pro různé sestavy využití

Název v anglickém jazyce

Advanced Laser Measuring Systems in Nanometrology

Popis výsledku anglicky

We present a development of a nanometrology system combining local probe microscopy and precise positioning and measuring in the nanoscale. The positioning operates in short range with a focus on precision; displacement measurement controls the sample stage in six degrees of freedom with high-resolution interferometry. The system is designed to operate as a national standard for nanometrology. The contribution presents collaborative work with Meopta company.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Sborník příspěvků multioborové konference LASER53

ISBN

978-80-87441-10-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

53-54

Název nakladatele

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Třešť

Datum konání akce

30. 10. 2013

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—