Multidimensional interferometric tool for the local probe microscopy nanometrology

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F11%3A00366031" target="_blank" >RIV/68081731:_____/11:00366031 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00177016:_____/11:#0000382

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/22/9/094030" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/22/9/094030</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/22/9/094030" target="_blank" >10.1088/0957-0233/22/9/094030</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Multidimensional interferometric tool for the local probe microscopy nanometrology

Popis výsledku v původním jazyce

This work reports on the measurement at the nanoscale using local probe microscopy techniques, primarily atomic force microscopy. Recent applications using the atomic force microscope as a nanometrology tool require that not only the positioning of the tip has to be based on precise measurements but also the traceability of the measuring technique has to be ensured up to the primary standard. Thus, in our experimental work, laser interferometric measuring methods were employed. In this paper, a new design of the six-axis-dimensional interferometric measurement tool for local probe microscopy stage nanopositioning is presented.

Název v anglickém jazyce

Multidimensional interferometric tool for the local probe microscopy nanometrology

Popis výsledku anglicky

This work reports on the measurement at the nanoscale using local probe microscopy techniques, primarily atomic force microscopy. Recent applications using the atomic force microscope as a nanometrology tool require that not only the positioning of the tip has to be based on precise measurements but also the traceability of the measuring technique has to be ensured up to the primary standard. Thus, in our experimental work, laser interferometric measuring methods were employed. In this paper, a new design of the six-axis-dimensional interferometric measurement tool for local probe microscopy stage nanopositioning is presented.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Measurement Science and Technology

ISSN

0957-0233

e-ISSN

—

Svazek periodika

22

Číslo periodika v rámci svazku

9

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

8

Strana od-do

"094030:1"-"8"

Kód UT WoS článku

000294764800031

EID výsledku v databázi Scopus

—