Nanometrology Interferometric System for Local Probe Microscopy

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F11%3A00368141" target="_blank" >RIV/68081731:_____/11:00368141 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Nanometrology Interferometric System for Local Probe Microscopy

Popis výsledku v původním jazyce

This work deals with the measuring in the nanoscale through local probe microscopy techniques, primarily the AFM microscopy. We present a new design of the six-axes dimensional interferometric measurement tool for local probe microscopy stage nanopositioning with the compensation system of angle errors. The measurement tool is powered by solid-state frequency-doubled Nd:YAG laser stabilized by linear absorption spectroscopy with the help of a new type of iodine absorption cell based on borosilicate glass material.

Název v anglickém jazyce

Nanometrology Interferometric System for Local Probe Microscopy

Popis výsledku anglicky

This work deals with the measuring in the nanoscale through local probe microscopy techniques, primarily the AFM microscopy. We present a new design of the six-axes dimensional interferometric measurement tool for local probe microscopy stage nanopositioning with the compensation system of angle errors. The measurement tool is powered by solid-state frequency-doubled Nd:YAG laser stabilized by linear absorption spectroscopy with the help of a new type of iodine absorption cell based on borosilicate glass material.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 20th IMEKO TC2 Symposium on Photonics in Measurement

ISBN

978-3-8440-0058-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

17-20

Název nakladatele

Shaker Verlag

Místo vydání

Aachen

Místo konání akce

Linz

Datum konání akce

16. 5. 2011

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—