Laser Source for Interferometry in Nanometrology

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F10%3A00352194" target="_blank" >RIV/68081731:_____/10:00352194 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Laser Source for Interferometry in Nanometrology

Popis výsledku v původním jazyce

The contribution is oriented towards measuring in the nanoscale through local probe microscopy techniques, primarily the AFM microscopy. The need to make the AFM microscope a nanometrology tool not only the positioning of the tip has to be based on precise measurements but the traceability of the measuring technique has to be ensured up to the primary etalon. This leads to the engagement of laser interferometric measuring methods. We present a design of a single-frequency stabilized laser which serves as a laser source for multiaxis position control of a nanopositioning stage. We have decided for a frequency-doubled Nd:YAG laser with thermal frequency control locked to a Doppler-broadened absorption line in iodine. The laser stabilization technique isdescribed together with comparison of frequency stability.

Název v anglickém jazyce

Laser Source for Interferometry in Nanometrology

Popis výsledku anglicky

The contribution is oriented towards measuring in the nanoscale through local probe microscopy techniques, primarily the AFM microscopy. The need to make the AFM microscope a nanometrology tool not only the positioning of the tip has to be based on precise measurements but the traceability of the measuring technique has to be ensured up to the primary etalon. This leads to the engagement of laser interferometric measuring methods. We present a design of a single-frequency stabilized laser which serves as a laser source for multiaxis position control of a nanopositioning stage. We have decided for a frequency-doubled Nd:YAG laser with thermal frequency control locked to a Doppler-broadened absorption line in iodine. The laser stabilization technique isdescribed together with comparison of frequency stability.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2010

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the International Conference on Nanotechnology: Fundamentals and Applications

ISBN

978-0-9867183-0-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Název nakladatele

International ASET

Místo vydání

Ottawa

Místo konání akce

Ottawa

Datum konání akce

4. 8. 2010

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—