Laser source for interferometry in nanotechnology
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F10%3A00352207" target="_blank" >RIV/68081731:_____/10:00352207 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Laser source for interferometry in nanotechnology
Popis výsledku v původním jazyce
The contribution is oriented towards measuring in the nanoscale through local probe microscopy techniques, primarily the AFM microscopy. The need to make the AFM microscope a nanometrology tool not only the positioning of the tip has to be based on precise measurements but the traceability of the measuring technique has to be ensured up to the primary etalon. This leads to the engagement of laser interferometric measuring methods. We present a design of a single-frequency stabilized laser which serves as a laser source for multiaxis position control of a nanopositioning stage. The laser stabilization technique is described together with comparison of frequency stability.
Název v anglickém jazyce
Laser source for interferometry in nanotechnology
Popis výsledku anglicky
The contribution is oriented towards measuring in the nanoscale through local probe microscopy techniques, primarily the AFM microscopy. The need to make the AFM microscope a nanometrology tool not only the positioning of the tip has to be based on precise measurements but the traceability of the measuring technique has to be ensured up to the primary etalon. This leads to the engagement of laser interferometric measuring methods. We present a design of a single-frequency stabilized laser which serves as a laser source for multiaxis position control of a nanopositioning stage. The laser stabilization technique is described together with comparison of frequency stability.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2010
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
17th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics (Proceedings of SPIE Vol. 7746)
ISBN
978-0-8194-8236-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
—
Název nakladatele
SPIE
Místo vydání
Bellingham
Místo konání akce
Liptovsky Jan
Datum konání akce
6. 9. 2010
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—