Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

6-axis interferometric coordinates measurement system for nanometrology

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F14%3A00431959" target="_blank" >RIV/68081731:_____/14:00431959 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

    <a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2054802" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1117/12.2054802</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

    <a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2054802" target="_blank" >10.1117/12.2054802</a>

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    6-axis interferometric coordinates measurement system for nanometrology

  • Popis výsledku v původním jazyce

    We present an overview of approaches to the design of nanometrology coordinates measuring setup with a focus on methodology of nanometrology interferometric techniques and associated problems. The design and development of a nanopositioning system with interferometric multiaxis monitoring and control involved for scanning probe microscopy techniques (primarily atomic force microscopy, AFM) for detection of the sample profile is presented. Coordinate position sensing allows upgrading the imaging microscope techniques up to quantified measuring. Especially imaging techniques in the micro- and nanoworld overcoming the barrier of resolution given by the wavelength of visible light are a suitable basis for design of measuring systems with the best resolution possible. The practical measurement results of active compensation system for positioning angle errors suppression are presented as well as the analysis of overall achievable parameters. The system is being developed in cooperation with

  • Název v anglickém jazyce

    6-axis interferometric coordinates measurement system for nanometrology

  • Popis výsledku anglicky

    We present an overview of approaches to the design of nanometrology coordinates measuring setup with a focus on methodology of nanometrology interferometric techniques and associated problems. The design and development of a nanopositioning system with interferometric multiaxis monitoring and control involved for scanning probe microscopy techniques (primarily atomic force microscopy, AFM) for detection of the sample profile is presented. Coordinate position sensing allows upgrading the imaging microscope techniques up to quantified measuring. Especially imaging techniques in the micro- and nanoworld overcoming the barrier of resolution given by the wavelength of visible light are a suitable basis for design of measuring systems with the best resolution possible. The practical measurement results of active compensation system for positioning angle errors suppression are presented as well as the analysis of overall achievable parameters. The system is being developed in cooperation with

Klasifikace

  • Druh

    D - Stať ve sborníku

  • CEP obor

    BH - Optika, masery a lasery

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2014

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název statě ve sborníku

    Photonic Instrumentation Engineering (Proceedings of Spie 8992)

  • ISBN

  • ISSN

    0277-786X

  • e-ISSN

  • Počet stran výsledku

    8

  • Strana od-do

    "89920W:1"-"8"

  • Název nakladatele

    SPIE

  • Místo vydání

    Bellingham

  • Místo konání akce

    San Francisco

  • Datum konání akce

    2. 2. 2014

  • Typ akce podle státní příslušnosti

    WRD - Celosvětová akce

  • Kód UT WoS článku

    000337143700023