Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F14%3A00434105" target="_blank" >RIV/68081731:_____/14:00434105 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers

Popis výsledku v původním jazyce

The ZrO W(100) Schottky cathode is used in our e-beam writing system working with a rectangular-shaped electron beam. The homogeneous angular current density distribution is crucial for quality of exposures of the shaped beam lithography systems. Two basic types of the angular emission distribution can be observed in dependence on the microscopic final end form shape of the emitter tip, with bright centre and more common dark centre. The stable operation of the cathode thus stable end form shape requires a delicate balance of parameters inside the gun which however can slightly change during cathode life time. This implies the necessity of analysing and periodical monitoring the current density distribution in e-beam. Four methods enabling this measurement are presented.

Název v anglickém jazyce

Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers

Popis výsledku anglicky

The ZrO W(100) Schottky cathode is used in our e-beam writing system working with a rectangular-shaped electron beam. The homogeneous angular current density distribution is crucial for quality of exposures of the shaped beam lithography systems. Two basic types of the angular emission distribution can be observed in dependence on the microscopic final end form shape of the emitter tip, with bright centre and more common dark centre. The stable operation of the cathode thus stable end form shape requires a delicate balance of parameters inside the gun which however can slightly change during cathode life time. This implies the necessity of analysing and periodical monitoring the current density distribution in e-beam. Four methods enabling this measurement are presented.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2014

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

18th International Microscopy Congres. Proceedings

ISBN

978-80-260-6720-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

—

Název nakladatele

Czechoslovak Microscopy Society

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Praha

Datum konání akce

7. 9. 2014

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—