Bandpass filter for secondary electrons in SEM - experiments

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F16%3A00460205" target="_blank" >RIV/68081731:_____/16:00460205 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://www.trends.isibrno.cz/" target="_blank" >http://www.trends.isibrno.cz/</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Bandpass filter for secondary electrons in SEM - experiments

Popis výsledku v původním jazyce

Bandpass energy filtering using a through-the-lens secondary electron (TLD) detector in a field emission gun SEM (FEG-SEM) has been known over a decade. During energy filtering, image contrast is changed and new information about the material can be observed. Our motivation for this study was to compare theoretical calculations with the experimental datanof the SE bandpass energy filter in Magellan 400 FEG SEM. The TLD detector works as a bandpass energy filter for the special setup of electrode potentials inside the objective lens, with the positive potential on the specimen regulating the energy window.

Název v anglickém jazyce

Bandpass filter for secondary electrons in SEM - experiments

Popis výsledku anglicky

Bandpass energy filtering using a through-the-lens secondary electron (TLD) detector in a field emission gun SEM (FEG-SEM) has been known over a decade. During energy filtering, image contrast is changed and new information about the material can be observed. Our motivation for this study was to compare theoretical calculations with the experimental datanof the SE bandpass energy filter in Magellan 400 FEG SEM. The TLD detector works as a bandpass energy filter for the special setup of electrode potentials inside the objective lens, with the positive potential on the specimen regulating the energy window.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2016

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation

ISBN

978-80-87441-17-6

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

36-37

Název nakladatele

Institute of Scientific Instruments CAS

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Skalský dvůr

Datum konání akce

29. 5. 2016

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000391254000012