The information depth of backscattered electron imaging

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F16%3A00460208" target="_blank" >RIV/68081731:_____/16:00460208 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://www.trends.isibrno.cz/" target="_blank" >http://www.trends.isibrno.cz/</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

The information depth of backscattered electron imaging

Popis výsledku v původním jazyce

Of the conventional imaging signals in the scanning electron microscope (SEM), the secondary electrons generally reflect surface properties of the sample, while the backscattered electrons (BSE) are capable of providing information about complex properties of the target down to a certain subsurface depth. Contrast mechanisms are combined according to the energy of incident electrons and energy and angular acceptance of BSE detection. In all cases, a question arises concerning the information depth of this mode. No applicable answer provides a definition declaring this depth as that from which we still obtain useful information about the object. We can employ software simulating the electron scattering in solids,nwhile experimental approaches are also possible. Moreover, two analytic formulas can be found in the literature.

Název v anglickém jazyce

The information depth of backscattered electron imaging

Popis výsledku anglicky

Of the conventional imaging signals in the scanning electron microscope (SEM), the secondary electrons generally reflect surface properties of the sample, while the backscattered electrons (BSE) are capable of providing information about complex properties of the target down to a certain subsurface depth. Contrast mechanisms are combined according to the energy of incident electrons and energy and angular acceptance of BSE detection. In all cases, a question arises concerning the information depth of this mode. No applicable answer provides a definition declaring this depth as that from which we still obtain useful information about the object. We can employ software simulating the electron scattering in solids,nwhile experimental approaches are also possible. Moreover, two analytic formulas can be found in the literature.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2016

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation

ISBN

978-80-87441-17-6

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

46-47

Název nakladatele

Institute of Scientific Instruments CAS

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Skalský dvůr

Datum konání akce

29. 5. 2016

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000391254000021