Practical Use of Scanning Low Energy Electron Microscope (SLEEM)

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F16%3A00465457" target="_blank" >RIV/68081731:_____/16:00465457 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1017/S1431927616009090" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1017/S1431927616009090</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1017/S1431927616009090" target="_blank" >10.1017/S1431927616009090</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Practical Use of Scanning Low Energy Electron Microscope (SLEEM)

Popis výsledku v původním jazyce

The high negative bias of a sample in a scanning electron microscope constitutes the cathode lens (CL), with a strong electric field just above the sample surface [1] offers a tool for controlling the landingnenergy of electrons down to units or even fractions of electronvolts. Moreover, the field accelerates and collimates the signal electrons to earthed detectors above and below the sample, thereby assuring highncollection efficiency and high amplification of the image signal. One important feature is the ability to acquire the complete emission of the backscattered electrons, including those emitted at high angles with respect to the surface normal. The cathode lens aberrations are proportional to the landing energy of electrons, so the spot size becomes nearly constant throughout the full energy scale.

Název v anglickém jazyce

Practical Use of Scanning Low Energy Electron Microscope (SLEEM)

Popis výsledku anglicky

The high negative bias of a sample in a scanning electron microscope constitutes the cathode lens (CL), with a strong electric field just above the sample surface [1] offers a tool for controlling the landingnenergy of electrons down to units or even fractions of electronvolts. Moreover, the field accelerates and collimates the signal electrons to earthed detectors above and below the sample, thereby assuring highncollection efficiency and high amplification of the image signal. One important feature is the ability to acquire the complete emission of the backscattered electrons, including those emitted at high angles with respect to the surface normal. The cathode lens aberrations are proportional to the landing energy of electrons, so the spot size becomes nearly constant throughout the full energy scale.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2016

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Microscopy and Microanalysis

ISSN

1431-9276

e-ISSN

—

Svazek periodika

22

Číslo periodika v rámci svazku

S3

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

1650-1651

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—