SMV-2019-16: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého EUV systému

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F19%3A00518469" target="_blank" >RIV/68081731:_____/19:00518469 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
SMV-2019-16: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého EUV systému
Popis výsledku v původním jazyce
Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvých systémů střídajících ve dvojvrstvách hořčík a křemík popřípadě molybden a křemík vytvořené magnetronovým naprašováním tak, aby drsnost rozhraní uvedených vrstev nepřesahovala 0,1 nanometry a reprodukovatelnost tlouštěk dvouvrstev byla lepší než jedna desetina nanometru. Mnohovrstvý systém byl použit jako EUV zrcadlo.
Název v anglickém jazyce
SMV-2019-16: Deposition technology and implementation of EUV multilayer system
Popis výsledku anglicky
We have developed deposition technology and implementation of multilayer systems of Mg/Si or molybdenum and silicon prepared by magnetron sputtering. Interface roughness has to be smaller than 0.1 nm and reproducibility of bilayer thickness (i.e. molybdenum or Mg and silicon) must be better that 0.1 nm. This multilayer system was used as a EUV mirror.

Rok uplatnění
2019
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Podobné výsledky(10)