Trajectory displacement in a multi beam scanning electron microscope

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F21%3A00549399" target="_blank" >RIV/68081731:_____/21:00549399 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S030439912100019X" target="_blank" >https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S030439912100019X</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.ultramic.2021.113223" target="_blank" >10.1016/j.ultramic.2021.113223</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Trajectory displacement in a multi beam scanning electron microscope

Popis výsledku v původním jazyce

The analytical theory of statistical Coulomb interactions allows to determine the trajectory displacement in a single rotationally symmetrical beam with well-behaved spatial and angular particle distributions. This can be used to estimate the trajectory displacement in a multi-beam system using the so called fully-filled segment approximation. This approach predicts full compensation of trajectory displacement for a specific setup of the system. We show that this prediction is not consistent with Monte Carlo simulations and we develop a new approach to the calculation, showing that two independent trajectory displacement contributions are present in a multi-beam system. We support this calculation with Monte Carlo simulations as well as with experimental data from a multi-beam system.

Název v anglickém jazyce

Trajectory displacement in a multi beam scanning electron microscope

Popis výsledku anglicky

The analytical theory of statistical Coulomb interactions allows to determine the trajectory displacement in a single rotationally symmetrical beam with well-behaved spatial and angular particle distributions. This can be used to estimate the trajectory displacement in a multi-beam system using the so called fully-filled segment approximation. This approach predicts full compensation of trajectory displacement for a specific setup of the system. We show that this prediction is not consistent with Monte Carlo simulations and we develop a new approach to the calculation, showing that two independent trajectory displacement contributions are present in a multi-beam system. We support this calculation with Monte Carlo simulations as well as with experimental data from a multi-beam system.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2021

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Ultramicroscopy

ISSN

0304-3991

e-ISSN

1879-2723

Svazek periodika

223

Číslo periodika v rámci svazku

April

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

8

Strana od-do

113223

Kód UT WoS článku

000632279200007

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85100426261