Kalibrační standard s mikro reliéfní kalibrační strukturou zaznamenané v tenké vrstvě

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F24%3A00575340" target="_blank" >RIV/68081731:_____/24:00575340 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Kalibrační standard s mikro reliéfní kalibrační strukturou zaznamenané v tenké vrstvě

Popis výsledku v původním jazyce

Vzorek, obsahující sadu kalibračních obrazců a periodických mřížek. Design kalibračních struktur je připraven na základě funkčních potřeb pro metrologické a kalibrační operace. Při návrhu byl brán ohled také na možností litografických technik a dalších technologických operacích, které byly pro přípravu kalibračního preparátu vyvíjeny. Funkční vzorek má formu křemíkového čipu a obsahuje binární strukturu realizovanou v tenké vrstvě připravenou pomocí elektronové litografie a depoziční technikou (PVD). Součástí je dokumentace popisující design kalibračních struktur a obrazové podklady obsahující výstupy z měření vzorku na AFM, SEM a konfokálním mikroskopu.

Název v anglickém jazyce

Calibration standard with micro relief calibration structure recorded in a thin layer

Popis výsledku anglicky

A sample containing a set of calibration patterns and periodic grids. The design of the calibration structures is based on the functional needs for metrology and calibration operations. The design also took into account the capabilities of lithographic techniques and other technological operations that were developed for the preparation of the calibration pattern. The functional sample is in the form of a silicon chip and contains a binary structure realized in a thin film prepared by electron beam lithography and deposition (PVD) techniques. Documentation describing the design of the calibration structures and images containing the output of the sample measurements on AFM, SEM and confocal microscope are included.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

<a href="/cs/project/FW03010504" target="_blank" >FW03010504: Vývoj in-situ technik pro charakterizaci materiálů a nanostruktur</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2024

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

APL-2024-01

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Křemíkový čip rozměru 10 mm x 10 mm obsahující motiv kalibračních vzorů (s mikronovým a submikronovým rozlišením) vytvořených v tenké vrstvě feromagnetického materiálu naneseného pomocí PVD techniky.

Ekonomické parametry

Funkční vzorek vyvinutý během řešení projektu s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Milan Matějka, Ph.D., mmatejka@isibrno.cz

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

68081731

Název vlastníka

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

V - Výsledek je využíván vlastníkem

Požadavek na licenční poplatek

—

Adresa www stránky s výsledkem

—