Prototyp systému diferenciálního čerpání hmotnostního spektrometru

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F26%3A00648862" target="_blank" >RIV/68081731:_____/26:00648862 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Prototyp systému diferenciálního čerpání hmotnostního spektrometru

Popis výsledku v původním jazyce

Originalita systému spočívá v jeho kompaktních rozměrech a konstrukci, umožňuje snížit tlak plynů na hodnoty požadované hmotnostním spektrometrem. Zaručena je jeho kompatibilita s elektronovým mikroskopem. Systém je však současně univerzální pro použití s hmotnostními spektrometry a elektronovými mikroskopy od různých výrobců, použitelný i pro mnoho dalších zařízení vyžadujících pro svou činnost snížení tlaku plynu. Splňuje požadavky na vakuovou těsnost s mikroskopem i analyzátorem, na zajištění ohřevu jeho vnitřních částí z důvodu minimalizace kondenzace analyzovaného plynu při jeho detekci v procesu pyrolýzy, na integraci ionizačního detektoru signálních elektronů, na vyměnitelnost vnitřní části s tlak omezujícími clonkami pro použití v klasickém SEM nebo v ESEM, na možnost připojení plynového chromatografu.

Název v anglickém jazyce

Prototype of a differential pumping system for a mass spectrometer

Popis výsledku anglicky

The system´s unique design and compact dimensions enable it to reduce gas pressure to the levels required by a mass spectrometer. It is compatible with electron microscopes. However, the system is also versatile enough to be used with mass spectrometers and electron microscopes from various manufacturers, as well as many other devices that require reduced gas pressure for operation. The system meets the requirements for vacuum tightness with both the microscope and the analyser, and ensures the heating of its internal components to minimise condensation of the analysed gas during detection in the pyrolysis process. It is also possible to integrate an ionisation detector for signal electrons and interchange the internal section with pressure-limiting diaphragms for use in a conventional SEM or ESEM. The system can also connect to a gas chromatograph.

Druh

G_prot - Prototyp

CEP obor

—

OECD FORD obor

20201 - Electrical and electronic engineering

Projekt

—

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2026

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

APL-2025-03

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Prototyp systému diferenciálního čerpání hmotnostního spektrometru byl ověřen pro zavedení do výroby. Při měření hledačem netěsností s pracovním plynem He těsnost lepší než 10-7 Pa. Schopnost snížit tlak z 1000 Pa na vstupu na maximálně 0,001 Pa na výstupu systému. Kompatibilita s přírubami speciálně navrženými pro elektronové mikroskopy různých výrobců. Vstupní část hmotnostního spektrometru vybavena ventilem pro vakuové oddělení komory vzorku mikroskopu a hmotnostního spektrometru. Vnitřní část vyměnitelná s možností výměny tlak omezující clony s průměrem otvorů v clonách od 50 μm do 800 μm. Odolnost vůči korozi a použitým kalibračním plynům (např. H, He, FC-5311). Teplotní odolnost po odstranění pryžových těsnění až do 300 °C včetně možnosti externího vypékání. Nízká hmotnost a kompaktní rozměry pro instalaci na komoru vzorku mikroskopu. Systém bude vybaven přívodem pro kalibrační plyny.

Ekonomické parametry

Prototyp realizovaný při řešení projektu CZ.01.01.01/01/22_002/0000618 s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení dle podmínek Smlouvy o spolupráci na řešení projektu OP TAK – Aplikace „reg. č. CZ.01.01.01/01/22_002/0000618“. Ekonomický přínos bude realizován příjemcem projektu, firmou NUM solution s.r.o., IČ: 04199766, DIČ: CZ04199766 se sídlem U Pergamenky 1145/12, 170 00 Praha 7 – Holešovice. Kontakt: doc. Ing. et Ing. Vilém Neděla, Ph.D., DSc.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

68081731

Název vlastníka

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. - NUM solution s.r.o.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—